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소재·부품 국산화 지원 12인치 테스트베드 구축..문제는 '돈'

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대전

    소재·부품 국산화 지원 12인치 테스트베드 구축..문제는 '돈'

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    국내 시설 부재..그간 막대한 비용·시간 들여 해외 의존
    나노종합기술원 "제품 개발기업과 최종 수요기업 연계하는 교량 역할"

    (사진=나노종합기술원 제공)
    일본 수출규제에 맞선 국내 반도체 소재·부품·장비의 국산화 움직임 속에 대전 나노종합기술원에 국내 기업들을 지원할 12인치 테스트베드(반도체 시험평가시설)가 들어선다.

    국내 기업에서 개발한 제품의 성능 검증을 위한 것으로 그동안 해외에 의존하며 비용과 시간 등을 감수해야 했던 환경이 한층 나아질 전망이지만, 예산 문제가 걸림돌로 작용한다.

    1일 나노종합기술원에 따르면 소재·부품·장비 연구개발 지원책으로 테스트베드를 구축하기로 하고 청정실과 12인치 실리콘 반도체 전용장비 10여 대를 먼저 만들 예정이다.

    많은 관련 중소·중견기업은 개발한 제품의 성능을 검증하기 위해 12인치 웨이퍼 테스트베드를 필요했다.

    하지만 현재 국내 시설 부재로 사실상 해외에 의존하는 실정으로 한 기업은 사용료로 18억 원을 쓰기도 했다.

    기업들이 대기업에 납품하기 위해서는 시제품 평가를 통과해야 한다. 해외 시설에 많은 돈과 시간을 들여가며 성능 검증을 의뢰하는 현실도 대기업 수준을 충족하기 위해서다.

    나노종합기술원은 현장의 이런 수요를 반영해 관련 검증 시스템을 구축하겠다는 계획을 내놨다. 기술을 개발한 기업과 최종 수요기업을 연계하는 교량 역할을 하겠다는 것이다.

    12인치 테스트베드 주요 장비. (사진=나노종합기술원 제공)
    문제는 예산으로 핵심장비인 '불화아르곤 이머전 스캐너'(ArF Immersion Scanner) 구축이 필요한 시점에서 신규 장비가 1000억 원 수준에 달해 확보된 예산으로는 구매가 불가능한 실정이다.

    나노종합기술원은 기업의 유휴 장비 확보에 노력하겠다고 밝혔다.

    이조원 원장은 “12인치 테스트베드 구축을 통해 중소기업의 제품개발에서부터 대기업의 최종 구매에 이르기까지 막힘없이 연계될 수 있도록 하겠다”고 말했다.

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