연합뉴스삼성전자 이재용 회장과 SK 최태원 회장이 12일(현지시간) 윤석열 대통령과 함께 네덜란드 반도체 장비 회사 ASML을 방문한다.
ASML은 7㎚(1㎚는 10억분의 1m) 이하 반도체 초미세 공정에 사용하는 EUV(극자외선) 노광 장비를 독점 생산한다. 전자회로를 반도체 웨이퍼에 조각할 때, 레이저로 정밀한 미세공정이 가능해 첨단 반도체 생산의 필수 장비다.
이 장비 한 대당 가격은 3000억~4000억 원에 달하지만 1년 생산량은 40~50대에 불과하다. 전 세계 반도체 기업이 모두 구입을 원하기 때문에 ASML은 이른바 '슈퍼을(乙)'로 불린다.
삼성전자와 SK하이닉스도 ASML의 주요 고객이다. 특히 삼성전자는 ASML이 투자를 유치하며 제품 구매 우선권을 부여할 때, 투자에 참여해 3%의 지분을 확보했다. 당시 인텔과 TSMC도 각각 15%와 5% 지분에 투자했다. 삼성전자는 3분기 기준 ASML의 지분 0.4%를 보유하고 있다.
ASML은 우리나라에도 투자하고 있다. 지난해 11월 경기도 화성시에 반도체 클러스터 '뉴 캠퍼스' 착공식을 연 바 있다. 2025년까지 2400억 원을 투자한다.